2023年11月21日～24日の4日間、香港理工大学で開催されたThe 10th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN) 2023において、本学教員らがBest Paper Awardを受賞しました。

本研究ではスクイーズ効果を利用し、空気膜生成による浮上支持特性を応用したユニークな位置決めテーブルを提案しました。スクイーズ効果はエアポンプを用いずに高周波振動で自律的に空気静圧を生じさせることが可能です。実験により膜厚変化と自重によって非接触でマイクロメータオーダの位置決めが達成されることを示しました。

【受賞対象】

表彰状